반도체 산업에서 웨이퍼 표면 온도 모니터링은 가장 중요한 프로세스가 웨이퍼 표면에서 발생하기 때문에 매우 중요합니다. 전체 제조공정 중 웨이퍼 표면을 실시간으로 정확한 온도 모니터링을 통해 다음을 수행 할 수 있습니다.

• • 제조 장비의 성능 식별
• • 장비 가동시간 증가 및 유지보수 비용절감
• • 제조공정의 고장에 대한 빠른 생산 근본 원인 분석

반응이 빠르고 정확하며 작은 광섬유 온도 센서는 웨이퍼 표면온도 모니터링에 이상적인 선택입니다.

반도체 산업의 지속적인 발전으로보다 빠르고 효율적인 프로세스가 도입되었습니다. RF / 마이크로파 가열은 고급 플라즈마에칭과 함께 기존 가열로 대체되고 있습니다.

전자기, 무선 주파수 및 마이크로파 환경의 사용으로 인해 광섬유 온도 센서는 제조 공정에서의 온도 모니터링 및 제어에 사용되고 있습니다. Rugged Monitoring의 빠르고 반응이 빠르며 크기가 작고 정확도가 높은 센서와 모니터는 플라즈마에칭, CVD, PVD, EPI, RTP 등과 같은 제조 공정의 중요한 단계에서 사용됩니다.

많은 고급 E-Chuck (정전 척) 설계에는 광섬유 온도 센서가 통합되어 제공됩니다. 온도 센서는 웨이퍼 후면과 직접 접촉하도록 설계되었습니다. 센서는 크기가 작고 견고하며 정확하며 EMI 및 RF / 마이크로파 간섭에 영향을받지 않습니다. 광섬유 온도 센서 및 모니터는 안정적이며 재교정이 없습니다.

E-Chuck에 온도 센서가 있으면 웨이퍼 표면에 온도 센서를 설치할 필요가 없습니다. 센서는 마이크로파 환경이나 오염 된 챔버에서아크가 발생할 위험이 없습니다.

광섬유 온도 센서는 중요한 전자 장치 및 전원 모듈의 회로 보드에서 핫스팟의 온도 프로파일을 측정하는 데 사용됩니다. 실시간 온도 모니터링은 회로 보드의 다음 주요 문제를 식별하는 데 도움이됩니다.

• • PC와 보드 사이의 통신 고장
• • 냉각 시스템, 공기 흐름 불량 및 냉각 젤 관련 문제
• • Tj (접합 온도), 즉 IGBT, DIODE 및 MOSFET

고전압 전원 공급 장치, 레이저 및 검출기 보드에 따른 온도 모니터링은 설계를 개선하고 시스템 신뢰성을 높이는 데 도움이됩니다.